微压力变送器在精确测量全过程，即工作压力立即功效在传感器的脉冲阻尼器上，使脉冲阻尼器造成与媒质工作压力正比的微偏移，使压力变送器的电阻器变化很大，一起根据电子线路检验这一转变，并变换輸出1个相匹配于这一工作压力的规范数据信号得全过程。
针对微压传感器而言，敏感度和线性度是微压力变送器最关键的2个性能参数。以便制做出满足实际上运用要求的传感器，必不可少探寻出这种微压力变送器敏感度和线性度的合理模拟仿真方式。实际上的科学研究中，发觉这种应用场景对压阻式液位传感器塑料薄膜表层地应力的有限元分析(FEA)和相对路径積分的模拟仿真方式。根据这一方式建立了在满量程范围之内不一样工作压力值下对压力变送器工作电压輸出值的精准估算，在此项工作上对液位传感器的敏感度和线性度开展了合理模拟仿真。
微压力变送器发展趋势快速，新研发出的类别压力变送器选用压电多晶硅片构造，并内嵌前置放大器，根据放大器变大很弱数据信号并建立特性阻抗转换，进而使压力变送器具备分度值小、敏感度高、抗干扰能力好等特性。这种压力变送器已普遍用以脉率、壁厚工作压力起伏等细微数据信号的检验。但不仅而且，针对微压力变送器精确度的检测这一瓶颈问题，就急需解决简变的精确测量设备精确测量该种类压力变送器的特性。
以便处理微压力变送器敏感度和离散系统的分歧，结构类型，综合性梁膜结构工程与平膜双岛构造的优势，选用双岛-梁构造。岛区域总面积并不是按占比变大或变小。最先，以便提升敏感度，应尽量减少窄梁区域长短和总宽。由于从对“梁-膜-岛”构造的有限元分析和相似性分析剖析中发觉，减少窄梁区域长短和总宽能够显著地使梁上的地应力扩大。而且当正中间窄梁的长短约为两侧窄梁长短的2倍时，元器件的线性度最好是。尽管有双岛限位开关构造，但在高负载状况下，硅膜将最先从岛的边区和角区裂开。这由于传统式的岛膜结构工程全是选用基本的有掩模的各向异性湿法浸蚀，从硅片反面产生硅膜和背岛。硅膜是晶面，外框和背大岛侧边全是晶面，交角为54.74°的钝角。
依据结构力学基本原理，在角区存有应力效用，使硅膜在反面或反面受力之后，角区会具备地应力的极值，因而裂开最先从该处产生。导入地应力匀散构造之后，使角区变为具备必须曲率的圆弧区，使该地的地应力极值降低。在硅膜与外框或背岛的交汇处要产生有必须曲率半经的缓变构造，选用通常的基本各向异性湿法浸蚀是没法建立的。因此，选用了掩模-无掩模各向异性湿法浸蚀技术性。
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